ADコートの特徴
一般的なフッ素樹脂コートの特性
| ≪非粘着性≫ | デポ物やダストの離型性に優れ、洗浄やメンテナンス作業が容易に出来ます。 |
|---|---|
| ≪耐薬品性≫ | 酸・アルカリ・溶剤に対して優れた耐久性を持っています。 |
| ≪耐 熱 性≫ | 260℃までの広い温度範囲で使用することが可能です。 |
ADコート3つの特徴
| 特性1 | 新開発 ”低アウトガス樹脂” 高純度フッ素樹脂の採用と特異な施工技術の開発により、初めて半導体プロセスでの 利用が可能となりました。 |
|---|---|
| 特性2 | 優れた耐蝕性と対プラズマ性 ハロゲン系のエッチングガスやクリーニングガスに加えて、高密度プラズマに対する 耐久性も多くのユーザで高く評価されています。 |
| 特性3 | 多様な形状の管材に対応できるコーティング 半導体製造装置に用いられている細管、フレキ管はもとより、多様な形状の管材に コーティングすることができます。 |
代表的なADコートの種類
| 樹脂 | 耐熱温度(℃) | 特長 |
|---|---|---|
| AD-100 | 260 | 優れた耐熱性・耐蝕性 |
| AD-200 | 150 | 幅広い用途に利用可能 |
| AD-300 | 150 | 優れた施工性 |
ADコートを支える厳重な品質管理体制
当社が長年、真空部品の製作で培ってきた品質へのこだわりは、
多くの半導体装置メーカーから高い信頼が
寄せられています。
代表的なプロセスへの事例
ドライエッチング装置
| 問題点 | コーティング個所 | 効果 |
|---|---|---|
| 排気ラインが閉塞する | 排気配管全般 | ダストの堆積が無くなり閉塞しなくなった。 |
| ウェハークランプとウェハーが離れない | ウェハー接触部分 | ウェハーとの離型性が良くなった。 |
| チャンバー腐蝕する | チャンバー内部部品 | １年以上ダメージ無し パーティクル汚染も少なくなった。 |
CVD装置
| 問題点 | コーティング個所 | 効果 |
|---|---|---|
| TEOS系デポ物による排気配管の閉塞 | 排気配管全般 | デポ物の堆積が無くなり閉塞しなくなった。 |
| NF3等のクリーニングガスにより 配管が腐蝕する |
排気配管全般 | 配管の腐蝕が無くなった。 |
除害装置
| 問題点 | コーティング個所 | 効果 |
|---|---|---|
| エッチング用ガスでフレキ管に穴があく | フレキ管内面 | フレキ管の腐蝕が無くなった。 |
| CVD用除塵装置の内部がデポ物で詰まる | バルブ・配管 | デポ物による閉塞トラブルが無くなった。 |
