コーティング

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ADコートの特徴

一般的なフッ素樹脂コートの特性

≪非粘着性≫ デポ物やダストの離型性に優れ、洗浄やメンテナンス作業が容易に出来ます。
≪耐薬品性≫ 酸・アルカリ・溶剤に対して優れた耐久性を持っています。
≪耐 熱 性≫ 260℃までの広い温度範囲で使用することが可能です。

ADコート3つの特徴

特性1 新開発 ”低アウトガス樹脂”
高純度フッ素樹脂の採用と特異な施工技術の開発により、初めて半導体プロセスでの
利用が可能となりました。
特性2 優れた耐蝕性と対プラズマ性
ハロゲン系のエッチングガスやクリーニングガスに加えて、高密度プラズマに対する
耐久性も多くのユーザで高く評価されています。
特性3 多様な形状の管材に対応できるコーティング
半導体製造装置に用いられている細管、フレキ管はもとより、多様な形状の管材に
コーティングすることができます。

代表的なADコートの種類

樹脂 耐熱温度(℃) 特長
AD-100 260 優れた耐熱性・耐蝕性
AD-200 150 幅広い用途に利用可能
AD-300 150 優れた施工性

ADコートを支える厳重な品質管理体制

当社が長年、真空部品の製作で培ってきた品質へのこだわりは、 多くの半導体装置メーカーから高い信頼が寄せられています。

代表的なプロセスへの事例

ドライエッチング装置

問題点 コーティング個所 効果
排気ラインが閉塞する 排気配管全般 ダストの堆積が無くなり閉塞しなくなった。
ウェハークランプとウェハーが離れない ウェハー接触部分 ウェハーとの離型性が良くなった。
チャンバー腐蝕する チャンバー内部部品 1年以上ダメージ無し
パーティクル汚染も少なくなった。

CVD装置

問題点 コーティング個所 効果
TEOS系デポ物による排気配管の閉塞 排気配管全般 デポ物の堆積が無くなり閉塞しなくなった。
NF3等のクリーニングガスにより配管が腐蝕する 排気配管全般 配管の腐蝕が無くなった。

除害装置

問題点 コーティング個所 効果
エッチング用ガスでフレキ管に穴があく フレキ管内面 フレキ管の腐蝕が無くなった。
CVD用除塵装置の内部がデポ物で詰まる バルブ・配管 デポ物による閉塞トラブルが無くなった。