| 各種サイズ対応可 | 50～450mm |
|---|---|
| 各種グレード対応 |
・Prime（高平坦度、抵抗値指定、エッジ形状固定等）ウエハー ・Lowパーティクルウエハー（0.045um≦50個(COP含む)～） ・Lowコストメカニカルグレードウエハー ・再生ウエハー ・他 |
| 取扱いメーカー | SEH, SUMCO, MEMC, Siltronic, LG Siltron, etc |
| 特殊ウエハー | 石英、ガラス、SOI、エピ、化合物ウエハー等 |
| その他 | Lowヘイズ、レーザーマーク有無、ドーパント、結晶方位、 ノッチ、オリフラライフタイム、酸素濃度、金属汚染、等 用途に応じた特殊スペック対応可能。 |
＊詳細ご相談ください。
別仕様書にてご指定下さい。（PDF)9kb
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